| 1 | 전자정보디바이스산업원천기술개발사업(지식경제부) | 메가소닉세정모듈개발 | 2006.11.01~2011.10.31 | -Pattern damage를 최소하여 32nm급의 반도체 웨이퍼를 세정하는 기술 개발-결과물 : DURATWIN unit | -세메스 납입-삼성전자 적용 중
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| 2 | 경기도기술개발사업(경기과학기술진흥원) | 고주파 진동 제트를 이용한 세정시스템 개발 | 2010.07.01~2012.06.30 | -Panel의 표면에 공정 중 발생하는 3um이상의 오염물을 건식으로 세정 기술 개발-기존 대비 세정 유효영역의 대면적화-결과물 : SLIM USC | -LG Display 납입-LG 이노텍 납입
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| 3 | 중소기업기술개발지원 사업(중소기업청) | 태양전지 셀 웨이퍼 Etching 장치 개발 | 2010.06.01~2012.05.31 | 세정과 애칭을 동시에 수행하는 태양광 웨이퍼 Final 세정장치 개발 | MEMC 태양광 사업부 장비납입
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| 4 | 우수제조기술연구센터사업(지식경제부) | 다중 진동모드를 이용한 초음파 세정기술 개발 | 2011.05.01~2015.04.30 | 다양한 초음파 진동모드를 이용하여 세척액상의 음압을 균일하게 유지하여 균일 세정기술의 개발 | 제품개발에 기술적용
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| 5 | 중소기업기술개발지원 사업(중소기업청) | 마이크로 기포공진을 이용한 태양광 셀웨이퍼 세정기술 개발 | 2012.06.01~2014.05.30 | 마이크로 공진기포를 생성하여 초음파에 공급하여 태양광 웨이퍼를 세정하는 기술 및 장비의 개발 | -기포생성장치 제품화-삼성전기 납입
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| 6 | 경기도기술개발사업(경기과학기술진흥원) | 마이크로 Droplet을 이용한 회로기판 세정기술 개발 | 2016.09.01~2017.08.31 | 일정한 크기의 Droplet형성은 마이크로홀(10~100um)의 노즐 위측에 Piezo에 의한 진동을 부여하여 균일하게 세정함 |
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| 7 | 중소기업기술개발지원 사업(중소기업청) | 100㎛급 진폭을 가지는 용착 모드 선택형 초음파 금속 융착 장치 개발 | 2017.05.01~2019.04.30 | 100um 이상 고진폭을 가지는 진동자 및 액추레이터를 연구하여 금속 용착에 적용하는 장치 개발 | |
